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半導(dǎo)體手動(dòng)式真空角閥原理_選型

作者:臺(tái)灣HTC 日期:2019-07-10 點(diǎn)擊:4460

真空閥(Vacuum Valves) -角閥(手動(dòng))是屬提升錐閥的一種。當(dāng)提升錐被頂至頂端時(shí), 閥門(mén)內(nèi)部的結(jié)構(gòu)腔是開(kāi)放系統(tǒng)且氣體流動(dòng)不受阻礙。一旦提升錐被移動(dòng)至閥門(mén)底部時(shí),橡膠密封圈被壓縮密封閥門(mén),而阻絕氣體的流通達(dá)到密封之效果。
臺(tái)灣Htc提供各式形式尺寸的真空角閥。它們有手動(dòng)和氣動(dòng),有軟管與無(wú)軟管。接口端可以焊KF, ISO, CF法蘭。Htc真空設(shè)計(jì)所有系列角閥適用于真空排氣系統(tǒng)、高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)、半導(dǎo)體技術(shù)與研究系統(tǒng)等。

本體不銹鋼304S.S.(可依客戶要求提供其它材質(zhì))

提升錐不銹鋼304S.S.(可依客戶要求提供其它材質(zhì))

接口端外徑3/4 ~ 8 英寸

軟管Welded AM-350 (選配)

密封Viton O型環(huán)

漏率2×10-9 mbar-l/sec

使用壓力范圍1×10-9 mbar 1000 mbar

最大使用壓差1.2 Bar

建議螺絲鎖緊扭力
ISO直角真空閥門(mén)規(guī)格
ISO-63 ~ ISO-160 100 Kg-cm 
ISO-200 ~ ISO-320 140 Kg-cm 
CF直角真空閥門(mén)規(guī)格
CF 35 170 Kg-cm 
CF-50~CF-200 210Kg-cm 
CF-250~CF-300 360Kg-cm

耐溫限制

烘烤溫度

閥門(mén)本體

O型圈密封

Open ≤ 100℃

Close ≤ 100℃

金屬密封

Open ≤ 200℃

Close ≤ 150℃

手動(dòng)式和氣動(dòng)式

≤ 80℃

保固條件

自客戶收到貨品起一年內(nèi), 或到達(dá)產(chǎn)品設(shè)定的使用次數(shù), 先到者為準(zhǔn)

操作環(huán)境限于空氣, 惰性氣體及真空

因天然災(zāi)害, 錯(cuò)誤操作造成的損壞及消耗品不在保固范圍內(nèi)

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